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名称 機関 メーカー 公開範囲
ERA-8000FE
北海道大学
微細加工・情報科学研究院
エリオニクス
学内学外とも共用
ELS8000FE
北海道大学
情報科学研究院
エリオニクス
学内学外とも共用
北海道大学
工学研究院技術部
学内のみ
SV-3100S4
東北大学
未来科学技術共同研究センター
ミツトヨ
学内学外とも共用
サーフコム1500
東北大学
工学研究科 足立・神田研究室
ACCRE TECH
東北大学
工学研究科 足立・神田研究室
ミツトヨ
東北大学
工学研究科 高・清水・松隈研究室
東北大学
工学研究科 高・清水・松隈研究室
SJ-410
東北大学
工学研究科 滝澤研究室
ミツトヨ
不明
東北大学
マイクロ・ナノマシニング教育研究センター
学内のみ
SV-3200
東北大学
金属材料研究所 古原研究室
ミツトヨ
不明
NewView7300
東北大学
工学研究科(機械・知能系)
ZYGO
学内学外とも共用
SE3500
東北大学
多元物質科学研究所
小坂研究所
不明
SE 300-39
東北大学
未来科学技術共同研究センター
小坂研究所
学内学外とも共用
岩手大学
工学部
不明
不明
山形大学
有機エレクトロニクス研究センター
不明
不明
NewView 8300 システム
山形大学
有機材料システムフロンティアセンター
学内学外とも共用
SURFCOM1400D
秋田大学
旧ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー
東京精密
不明
AC-1
公立千歳科学技術大学
理研計器社製
学内学外とも共用
Dektak 6M
公立千歳科学技術大学
ナノテクノロジープラットフォーム事業
アルバック
学内学外とも共用
SV9624 3D
茨城大学
ナノエンジニアリング研究所
ミツトヨ
不明
New View 7300
宇都宮大学
産学イノベーション支援センター
Zygo
学内学外とも共用
ESCA5600
群馬大学
産学連携・知的財産活用センター
アルバック・ファイ
学内学外とも共用
サーフコム130A
群馬大学
理工学部マイクロナノ工学研究室
東京精密
不明
Dektak
筑波大学
微細加工プラットフォーム
アルバック
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